Электрондук нур менен буулантуу ыкмасы вакуумдук буулануу каптоосунун бир түрү болуп саналат, ал электрондук нурларды вакуум шартында буулануучу материалды түздөн-түз ысытуу, буулантуучу материалды буулантуу жана аны субстратка ташуу жана жука пленка түзүү үчүн субстратта конденсациялоо үчүн колдонот. Электрондук нур менен жылытуучу түзүлүштө ысытылган зат суу менен муздатылган тигелге жайгаштырылат, бул буулануу материалы менен тигелдин дубалынын ортосундагы реакцияны болтурбай, пленканын сапатына таасирин тийгизет. Бир эле учурда же өзүнчө буулантууга жана ар кандай заттардын чөктүрүлүшүнө жетишүү үчүн бир нече тигель аппаратка жайгаштырылышы мүмкүн. Электрондук нур менен буулануу менен каалаган материалды буулантууга болот.
Электрондук нурлардын буулануусу жогорку эрүү чекитиндеги материалдарды бууланышы мүмкүн. Жалпы каршылык жылытуу буулануу менен салыштырганда, ал жогорку жылуулук натыйжалуулугун, жогорку нур токтун тыгыздыгы жана тез буулануу ылдамдыгы бар. Өткөргүч айнек сыяктуу ар кандай оптикалык материалдардын пленкасы жана пленкасы.
Электрондук нурлардын буулануусунун өзгөчөлүгү, ал максаттуу үч өлчөмдүү түзүлүштүн эки тарабын каптабайт же сейрек каптайт жана көбүнчө максаттуу бетинде гана депозиттер болот. Бул электрон нурунун буулануу менен чачыратуу ортосундагы айырма.
Электрондук нурлардын буулануусу көбүнчө жарым өткөргүчтөрдү изилдөө жана өнөр жай тармагында колдонулат. Ылдамдатылган электрон энергиясы материалдык бутага сокку уруу үчүн колдонулат, бул материалдык максаттын бууланышына жана көтөрүлүшүнө алып келет. Акыры максатка коюлган.
Посттун убактысы: 2022-жылдын 2-декабрына чейин